Influence of the pulse duration of fast high power magnetron discharge on the amount of ion collected on the substrate

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Vliv delky pulzu pulzniho magnetronu na mnozstvi iontu na substratu
Autoři

VAŠINA Petr MRÁZKOVÁ Martina MEŠKO Marcel IMBERT Jean-Christophe GANCIU Mihai BOISSE-LAPORTE Caroline DE POUCQUES Ludovic TOUZEAU Michel PAGNON Daniel BRETAGNE Jean

Rok publikování 2005
Druh Článek ve sborníku
Konference Proceeding of 27th International Conference on Phenomena in Ionised Gases
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova magnetron sputtering; plasma diagnostics; pulsed discharge
Popis Studium magnetronového výboje rovinnou Langmuirovou sondou.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.