Spatially resolved optical diagnostics of neon RF discharge

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Prostorově rozlišená optická diagnostika RF výboje v neonu
Autoři

NAVRÁTIL Zdeněk MATÚŠKA Ján TRUNEC David MATEJČÍK Štefan ŠMÍD Radek LAZAR Lukáš

Rok publikování 2007
Druh Článek ve sborníku
Konference Book of Abstracts of 16th Symposium on Application of Plasma Processes
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova neon RF discharge; optical emission spectroscopy; collisional-radiative model
Popis Kapacitně vázaný RF výboj v neonu (13.56 MHz) byl studován prostorově rozlišenou optickou emisní spektroskopií a srážkově-radiačním modelem. Byly zkoumány dva režimy výboje při různých tlacích (10 a 80 Pa). Z měřených intenzit výrazných spektrálních čar neonu a srážkově-radiačního modelu byla stanovena teplota elektronů ve výboji.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.